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蒸发 (沉积)

蒸发是薄膜沉积的常用方法。将原材料在真空中蒸发。
真空会使蒸汽粒子能够直接运动到目标物体上(基片)，
在其表面凝结回固态。 蒸发常用于微细加工和制造金属化塑料薄膜等宏观尺度的产品。

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设备

在热制法中， 金属材料（以金属丝、 金属球 、 金属粒的形式）将被送入加热的半金属（陶瓷）蒸发器，其又因形状而被称为“蒸发舟”。 金属材料将于蒸发舟内熔化，并在源材料上方蒸发成云。
或者，将原材料置于坩埚中，所述坩埚由电灯丝辐射加热，或者将原材料直接挂在灯丝上(灯丝蒸发)。